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    Abstract: No abstract text available
    Text: 技術資料 真空中での除電技術 ― VUVイオナイザ ― •応用例 真空紫外光を利用した静電気除去システムです。 従来のイオナイザはそのイオン化及び除電方式より減圧下 での除電が不可能でした。しかし本方式では残留分子を


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